Zespół śrubowej pompy próżniowej Rootsa do produkcji półprzewodników

Zespół śrubowej pompy próżniowej Roots składa się z pompy próżniowej Roots i śrubowej pompy próżniowej, które są połączone szeregowo w celu realizacji wydajnej funkcji pompowania i jest jednym z ważnych urządzeń do produkcji przemysłowej i eksperymentów naukowych.

Opis

Śrubowe pompy próżniowe Rootsa łączą w sobie zalety pomp Rootsa i pomp śrubowych, oferując czyste, wydajne i bezolejowe rozwiązanie próżniowe do wymagających zastosowań przemysłowych i laboratoryjnych. Dzięki konstrukcji uszczelnienia szczelinowego i braku oleju smarowego, pompy te zachowują wysoką czystość i wyjątkową wydajność przez cały czas pracy.

Zasada działania śrubowej pompy próżniowej Rootsa

  • Śrubowa pompa próżniowa (stopień wstępny):Działa jako pompa wstępna, zapewniając wysoką wydajność pompowania i niskie ciśnienie wylotowe. Mechaniczne sprężanie za pomocą precyzyjnych szczelin śrubowych zapewnia wydajną, cichą i niskowibracyjną pracę.
  • Pompa próżniowa Roots (główna/pośrednia):Synchronicznie obracające się podwójne wirniki przenoszą spaliny z komory ssącej do komory wydechowej. Uszczelnienie szczeliny zapobiega zanieczyszczeniu olejem, utrzymując czyste środowisko próżniowe.
  • Praca szeregowa:Obie pompy pracują szeregowo, przy czym pompa śrubowa zwiększa poziom próżni, a pompa Rootsa zapewnia stabilną, ciągłą wydajność pompowania.

Zalety wydajności

  1. Oszczędność energii:Zoptymalizowany stosunek prędkości pompowania i stopnia próżni zmniejsza zużycie energii, przewyższając tradycyjne systemy próżniowe pod względem efektywności energetycznej.
  2. Wysoka wydajność:Osiąga ponad 90% wydajności pompowania, zapewniając wysoki poziom próżni przy niskim zużyciu energii w różnych procesach.
  3. Ochrona bezpieczeństwa:Zaawansowany system sterowania z automatycznym uruchamianiem/zatrzymywaniem, zabezpieczeniem przed przeciążeniem, przetężeniem i odcięciem dopływu wody zapewnia długotrwałą stabilność.
  4. Kompaktowa konstrukcja:Pionowa lub drabinkowa konstrukcja minimalizuje zajmowaną powierzchnię, idealna dla fabryk i laboratoriów o ograniczonej przestrzeni.
  5. Elastyczna konfiguracja:Regulowany stosunek prędkości pompowania między pompami (od 1:2 do 1:8) w celu dostosowania do różnych wymagań roboczych.
  6. Właściwości antykorozyjne:Powierzchnie przelewowe są obrabiane lub wykonane z materiałów odpornych na korozję, odpowiednich do odsysania gazów korozyjnych i pracy w trudnych warunkach.

Obszary zastosowań

  • Przemysł chemiczny:Ekstrakcja lotnych rozpuszczalników organicznych, gazów i do użytku w reaktorach próżniowych – szeroko stosowanych w procesach chemicznych i farmaceutycznych.
  • Produkcja półprzewodników:Wspomaga procesy osadzania próżniowego, czyszczenia i trawienia.
  • Przemysł spożywczy:Niezbędny do pakowania żywności, odwadniania i suszenia próżniowego.
  • Przemysł metalurgiczny:Ekstrakcja gazu w piecach metalurgicznych i laboratoriach w celu stabilizacji procesów topienia.
  • Laboratoria i badania naukowe:Idealny do eksperymentów próżniowych i odzyskiwania gazu w środowisku naukowym.
  • Przemysł elektroniczny:Stosowany w produkcji układów scalonych, powlekaniu próżniowym ekranów i innych procesach produkcji elektroniki.